仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统
二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。
项目名称 | 指标 |
三氯氢硅(SiHCl3 )含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 10 |
(一氯硅烷+氯化氢)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氢计(体积分数)/l0-6 ≤ | 50 |
氮(N2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 1 |
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 1 |
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 1 |
氢(H2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 10 |
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 1 |
总烃(THC)含量,以甲烷(CH4)计(体积分数)/l0-6 ≤ | 1 |
金属元素及其他元素含量 | (硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg) ≤ | 0.1 |
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg) ≤ | 0.3 |
镓(Ga)含量/(μg/kg) ≤ | 0.1 |
锑(Sb)含量/(μg/kg) ≤ | 0.1 |
铟(In)含量/(μg/kg) ≤ | 0.1 |
钙(Ca)含量/(μg/kg) ≤ | 1 |
铬(Cr)含量/(μg/kg) ≤ | 1 |
铁(Fe)含量/(μg/kg) ≤ | 5 |
钾(K)含量/(μg/kg) ≤ | 1 |
钠(Na)含量/(μg/kg) ≤ | 0.2 |
镍(Ni)含量/(μg/kg) ≤ | 1 |
钼(Mo)含量/(μg/kg) ≤ | 0.1 |
锰(Mn) 含量/(μg/kg) ≤ | 0.2 |
铜(Cu)含量/(μg/kg) ≤ | 0.2 |
镉(Cd) 含量/(μg/kg) ≤ | 0.5 |
钴(Co)含量/(μg/kg) ≤ | 0.5 |
锌(Zn)含量/(μg/kg) ≤ | 0.1 |